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 供求商机详细资料 发布时间:2008-3-28 9:53:40 

全自动硅片腐蚀机

 
全自动硅片腐蚀机
硅片切片后清洗设备: 型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB设备用于3”4“5”6“8”硅片的规模生产,产品一致性好,技术先进。 ⑴整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成,本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观,耐酸性能好,操作方便,运行可靠,是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。 ⑶工艺过程全自动,机械手在槽间转换靠PLC来控制,美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。 ⑷除装片和取片需人工外,其余工艺动作均由机械手来实现,适用于连续批量生产。 ⑸机台内设高效过滤器,满足净化工作区工作(1000级~100级,10级为特级)。⑹人机界面为触摸屏,有安全保护故障代码,故障报警,工艺时序号,方便操作、易于维护。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/52112445/52112455/13811055965/13910297918/13911371769/耿彪/李国山。本公司律师顾问团郑重声明:依据国家有关法律,在中华人民共和国范围内,北京华林嘉业科技有限公司是唯一拥有对有关“华林嘉业”字样名称及商标等专用权的合法性公司,任何个人机构不得擅自使用。
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